开发了SUS304和Vespel的强键合方法。该工艺使支撑部分变薄并防止其接触相邻的晶圆。即使在高温 (288°C) 下也能保持稳定的性能。它还可以有效防止颗粒产生。

日本福乐FLUORO手动镊子H系列M800-200S

主体可选择20度、45度、90度，水平放置用BC-K系列支持2英寸到12英寸。（使用角度是固定的，不更换主体就不能改变使用角度。）由于导向挡块具有平缓的锥度，因此晶圆的边缘会在一点接触。由抗静电聚碳酸酯制成的导向环可以目视确认定位和吸力状态。主体采用导电性尼龙树脂，实现了轻量化。可处理双面印刷图案的晶圆，以及薄至50µm的难以处理的晶圆。我们还支持与目标对象匹配的定制设计产品，例如方形。

主要使用导电MC尼龙。具有10 6 Ω/cm的低体积电阻率，是一种有效的防静电措施。控制箱即使在长时间连续运行时也能稳定定位。通过采用切换杆，您可以轻松地在顶部对齐和底部对齐之间切换。它还支持薄的 300 微米级晶圆。机身尺寸：W290 x D190 x H100 (mm)/重量：2.6 kg（8 英寸）对齐大约需要 30 秒。（8 英寸）【请】订购时，请告知我们您使用的运营商的型号。请注意过度拆

在输送微小物体时，经常会看到被输送物体因空气中的水分或静电而无法与吸附部分的分离。毕竟，似乎有很多工作效率受到阻碍的情况，例如因冲击而下降。解决这个问题的是真空镊子和泵系统，它具有吸气和排气功能（内置排气调节机构）。吸附传输插图动画

在输送微小物体时，经常会看到被输送物体因空气中的水分或静电而无法与吸附部分的分离。毕竟，似乎有很多工作效率受到阻碍的情况，例如因冲击而下降。解决这个问题的是真空镊子和泵系统，它具有吸气和排气功能（内置排气调节机构）。

规格代码FV-10-110姓名真空泵FV-10（带管）额定电压AC-100V能量消耗5.0 W 或更少吸入压力-3 至 -14 kPa（无级调节）流量（注 1）2.8升/分钟（空载）尺寸长 155 x 宽 72 x 高 54 (mm)大量的600克续航时间超过 9,000 小时

代码FV-10姓名真空泵FV-10额定电压AC-100V(50Hz)能量消耗5.0W极限吸入压力-3 至 -14 kPa（无级调节）流速2.8升/分钟尺寸长 155 x 宽 72 x 高 54 (mm)大量的600克续航时间超过 9,000 小时使用极限温度40℃

代码FV-30姓名真空泵FV-30额定电压AC-100V(50Hz)能量消耗5.0W极限吸入压力-50 kPa流速2.5升/分钟尺寸长 137 x 宽 88 x 高 85 (mm)大量的800克续航时间超过 9,000 小时使用极限温度40℃

规格代码FV-60姓名真空泵FV-60额定电压AC-100V(50Hz)能量消耗10.0W极限吸入压力-85 kPa流速2.5升/分钟尺寸长 137 x 宽 88 x 高 133 (mm)大量的1.250克续航时间超过 9,000 小时使用极限温度40℃

规格代码FV-XP姓名真空泵 FV-XP额定电压AC-100V(50Hz)能量消耗10.0W极限吸入压力-60kPa流速5.0升/分钟尺寸长 137 x 宽 88 x 高 133 (mm)大量的1.250克续航时间超过 9,000 小时使用极限温度40℃

日本福乐FLUORO真空吸笔C003-D-Y-161-92-CP Fluoro Mechanic 是半导体行业晶圆处理工具的制造商。 我们的产品包括真空棒（真空镊子、真空笔）、手动棒（晶片镊子）、真空泵、管道等。