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品牌 | FLUORO/日本福乐 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 综合 |
1. 多角度设计满足多样化需求
设备主体提供20度、45度、90度三种固定角度选择,配合BC-K系列水平放置支架,可支持2英寸至12英寸晶圆的稳定处理。这种模块化设计允许用户根据具体工艺需求选择最合适的工作角度,但需注意角度调整需要通过更换主体实现。
2. 精密导向系统确保安全接触
创新的导向挡块采用平缓锥度设计,使晶圆边缘实现单点接触,大幅降低划伤风险。配备的抗静电聚碳酸酯导向环不仅有效防止静电损伤,还提供直观的定位状态和吸力情况视觉确认功能,提升操作安全性。
3. 轻量化结构兼顾强度与功能
主体采用导电尼龙树脂材料,在实现设备轻量化的同时保证了必要的结构强度和静电防护性能。这种材料选择使设备能够稳定处理包括双面印刷图案晶圆在内的各种特殊晶圆,最小可支持50µm厚度的超薄晶圆加工。
4. 定制化服务拓展应用范围
除标准圆形晶圆外,设备还提供定制化设计服务,可针对方形等特殊形状加工对象进行专门适配。这种灵活的解决方案能够满足科研机构和小批量生产用户的特殊需求,展现设备的广泛适应能力。