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KOSAKA小坂致东Radiation全光谱椭偏仪

简要描述:KOSAKA小坂致东Radiation全光谱椭偏仪
品牌:致东 Radiation
● 桌上型膜厚量测设备
● 安装移动迅速便捷
● 适用于所有非金属膜质
● 多样化的应用选择
● 工业标准数据端口

  • 产品型号:SE-RD-STD系列
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-11-21
  • 访  问  量:25
详细介绍
品牌KOSAKA/小坂研究所价格区间面议
产地类别进口应用领域综合

规格

技术指标

衬底类型

透明或半透明衬底

光源

氙灯

光源寿命

>8760H

光谱范围

300-1000nm

入射角

70度(40-90度 每5度可调)

光斑直径

100x120μm(Min80x100um)

测量时间(不对焦)

<2S(单层模型),<6s(多层模型)

膜厚测量范围(单层膜)

1nm-15μm

对焦

自动讯号对焦

膜厚测量精度

<0.5nm(基于标片)

折射率测量精度

<0.005(基于标片)

厚度重复性精度:

<0.5A1 sigma 标准差,10times)(基于标准片)

折射率重复性精度:

<0.00051 sigma标准差,10times)(基于标准片)

可测试膜层数量

2

标片数量

2

KOSAKKOSAKA小坂致东Radiation全光谱椭偏仪

品牌:致东 Radiation

● 桌上型膜厚量测设备

● 安装移动迅速便捷

● 适用于所有非金属膜质                                                

● 多样化的应用选择                        

● 工业标准数据端口                                         

KOSAKKOSAKA小坂致东Radiation全光谱椭偏仪

 


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