简要描述：KOSAKA小坂研究所半导体探针卡检测设备
● 承载量> 50 kg。● 专用探针卡盘；RFID 卡识别。● 适用于SEMI以及SECS/GEM协议。● MEMS式, 垂直式, 悬臂式探针卡。● 评估晶圆磨损与探针尖/头的相关性。● 探测探针卡表面异物与表面堵塞情况。● 持续监测耗损状况, 精确预测使用寿命。● 迅速评估, 精准定位, 大幅降

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