武藏MUSASHI全自动晶片水准点胶机器FAD5100S-WH实现后端过程FAD5100系列的进化形。被自自设定晶片上的设备排列。为程序人工数的大幅度的削减做贡献。・ 出自无停止连续动作的高速的涂布:特快点胶机能。・ 出自无停止连续动作的高速的成直线:特快对齐功能。・ 使涂布量自动化:DVM机能。・ 被博伊德回避形成理想的涂布模式"叶线":MCD机能[PAT.P]。・ 大量事前防止不良:AFC机能。・晶片变换操作搭载。SPECIFICATION概略规格名称全自动晶片水准点胶机器FAD5100S-WH型号FAD5100S-WH控制方式PC/PLC控制(SMEMA根据)适用工件台12"晶圆,8"晶圆武藏MUSASHI全自动晶片水准点胶机器FAD5100S-WH