服务热线
品牌 | FLUORO/日本福乐 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 综合 |
1. 杠杆结构实现高效省力操作
该晶圆夹持系统采用精密设计的双支点杠杆机构,通过1:4的力臂比将操作力降低至传统镊子的40%。锁定机构激活后仅需施加0.6N的保持力,即可稳定支撑200-300mm规格的晶圆,显著提升操作舒适度。
2. 智能锁定系统确保稳定夹持
棘轮式自锁装置在闭合后自动维持预设压力,无需持续施力。系统配备可视化的压力指示窗口,操作人员可快速确认夹持状态,避免因人为因素导致的压力波动。
3. 优化接触设计降低污染风险
接触点采用医疗级PEEK材料精密加工而成,两点接触结构将有效接触面积控制在0.1mm²以内。PEEK材料表现出优异的耐化学性和260℃的持续耐温性能,符合半导体制造的严苛要求。
4. 定制化服务满足多样化需求
提供多种接触端形状和尺寸的定制加工服务,可根据具体应用需求提供专业的解决方案。模块化设计使维护更加便捷,平均使用寿命可达2000次操作以上。