服务热线
| 品牌 | FLUORO/日本福乐 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
1. 杠杆力学设计优化操作体验
该晶圆夹持系统采用精密计算的杠杆结构，通过1:3.5的力臂比实现高效省力操作。锁定机构启动后仅需0.5N的保持力即可稳定承托300mm晶圆，相比传统镊子可减少60%的操作力度，显著降低操作疲劳。
2. 自动锁定机构提升工作可靠性
创新的弹簧辅助锁定装置在闭合后自动维持预设夹持力，无需持续施压。系统配备三色LED压力指示灯，绿色表示安全夹持范围，红色提示压力异常，确保每次操作都处于优良状态。
3. 精密接触结构保障晶圆洁净度
接触点采用医疗级PEEK材料经精密研磨加工，两点接触设计将有效接触面积控制在0.08mm²。PEEK材料在260℃高温环境下仍保持性能稳定，并通过ISO Class 3洁净度认证。
4. 人机工程学设计提高工作效率
系统整体重量控制在250g以内，符合人体工学的弧形手柄设计使操作更加自然舒适。实际测试显示，该设计可使晶圆转移效率提升30%，操作失误率控制在0.2%以内。