服务热线
品牌 | FLUORO/日本福乐 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 综合 |
1. 杠杆结构实现高效省力操作
该晶圆夹持系统采用双支点杠杆设计,通过机械增益原理将操作力降低65%。锁定机构启动后仅需0.8N的保持力即可稳定支撑300mm晶圆,大幅减轻操作负担,使长时间作业更加轻松。
2. 自动锁定确保稳定夹持
创新的棘轮锁定装置在闭合后自动保持预设压力,无需持续施力。系统配备压力显示装置,操作人员可直观确认夹持状态,避免因疲劳导致的压力波动。
3. 两点接触设计优化洁净度
接触部位采用精密加工的PEEK材料,两点接触结构将污染风险显著降低。PEEK材料具备260℃耐温性能,在多种化学环境下保持稳定,满足半导体制造要求。
4. 定制服务提供专业解决方案
系统支持多种接触端形状和尺寸的定制加工,可根据具体应用需求提供专业方案。模块化设计便于维护,使用寿命可达2500次操作以上。