服务热线
品牌 | FLUORO/日本福乐 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 综合 |
1. 杠杆力学设计提升操作便利性
该晶圆夹持系统采用双支点杠杆结构,通过机械原理将操作力降低60%以上。锁定机构启动后仅需维持1N左右的保持力,即可稳定支撑标准200mm晶圆,大幅减轻操作人员的体力消耗,使长时间作业更加轻松舒适。
2. 智能锁定系统确保稳定夹持
创新的弹簧辅助锁定装置在闭合后自动保持预设压力,无需持续施力。系统配备压力感应指示灯,通过颜色变化直观显示夹持状态,有效避免因操作疲劳导致的压力不足或过大问题。
3. 优化接触设计降低污染风险
接触部位采用医用级PEEK材料精密加工,两点接触结构将接触面积控制在0.12mm²以内。PEEK材料具备260℃持续耐温性能,在多种化学环境下表现稳定,符合半导体制造对材料纯净度的严格要求。
4. 定制化服务满足多样化需求
系统提供多种接触端形状和尺寸的定制选项,可根据具体应用需求提供专业的加工方案。所有组件均采用模块化设计,便于维护更换,平均使用寿命可达3000次操作以上,显著降低使用成本。