服务热线
品牌 | FLUORO/日本福乐 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 综合 |
1. 杠杆力学设计实现低耗力操作
该晶圆夹持系统采用优化杠杆结构,通过1:5的力学增益比,将操作所需握力降低至常规镊子的30%。锁定机构激活后仅需维持0.8N的保持力,即可稳定承托450g的标准晶圆,显著减轻操作人员的肌肉疲劳。
2. 自锁机构确保持续稳定夹持
创新的棘轮式锁定装置在闭合后自动保持预设夹持力,无需持续施压。系统配备可视化的压力指示窗,操作人员可快速确认夹持状态,避免因人为因素导致的压力波动,保证工艺稳定性。
3. 精密两点接触降低污染风险
接触部位采用医疗级PEEK材料精密加工而成,两点接触设计将有效接触面积控制在0.15mm²。PEEK材料具备280℃持续耐温能力,在强酸强碱环境下仍能保持性能稳定,满足半导体制造的严苛要求。
4. 人机工程优化操作体验
系统整体重量控制在280g,符合人体工学的弓形手柄设计使操作角度自然舒适。实际应用数据显示,该设计可使晶圆转移效率提升35%,同时将操作失误概率控制在0.3%以内,有效保障生产质量。