服务热线
| 品牌 | FLUORO/日本福乐 | 产地类别 | 进口 |
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| 应用领域 | 综合 |
1. 杠杆机构实现高效省力操作
该晶圆夹持系统采用优化设计的杠杆结构，通过机械增益原理将操作力降低70%以上。锁定机构激活后仅需维持0.5N的保持力，即可稳定支撑标准300mm晶圆，大幅减轻操作人员的劳动强度，使长时间作业更加轻松。
2. 智能锁定确保稳定夹持
创新的自锁式夹紧机构在闭合后自动保持预设压力，无需持续施力。该系统配备压力指示装置，可直观确认夹持状态，避免因操作疲劳导致的压力波动，保证每次操作的一致性。
3. 两点接触设计保障洁净度
接触部位采用精密加工的PEEK材料，两点接触结构将污染风险降至较低。PEEK材料具备280℃的耐温性能和优异的化学稳定性，在保证夹持可靠性的同时，满足半导体制造对材料纯净度的严格要求。
4. 人性化设计提升工作效率
系统重量控制在300g以内，符合人体工程学的握柄设计使操作更加舒适。实测表明，该设计可使晶圆转移效率提升40%，同时将操作失误率降低至0.5%以下，显著提高生产线的整体良率。