服务热线
| 品牌 | FLUORO/日本福乐 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
1. 两点接触结构优化晶圆处理工艺
该晶圆夹持系统采用精密计算的两点接触方案，接触点直径控制在0.3mm以内。这种设计通过减少接触面积，将表面污染概率降低85%以上。接触点采用特殊陶瓷合金材料，表面经过纳米级抛光处理，确保在操作过程中不会产生微划痕。
2. 安全夹持方案保护晶圆完整性
相比传统金属夹具，系统选用复合工程塑料作为主要接触材料。该材料经过特殊改性处理，硬度控制在60-70HRC范围内，既保证足够夹持力又避免损伤晶圆。测试数据表明，该设计可将晶圆破损率控制在0.02%以下。
3. 智能压力调节确保操作稳定性
晶圆挡块集成压力感应系统，能够实时监测接触压力。当压力超过3N时，系统会自动启动补偿机制，将压力稳定在安全范围内。这一功能特别适合自动化生产线，可有效防止操作失误导致的晶圆损伤。
4. 可清洁设计满足严苛环境要求
整体结构采用无粘合剂设计，所有组件均可拆卸清洗。材料选择包括PEEK、陶瓷复合材料等多种选项，支持121℃高温消毒。系统维护周期可达1500次操作以上，显著降低使用成本。