服务热线
| 品牌 | FLUORO/日本福乐 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
1. 精密两点接触设计保障晶圆洁净度
该晶圆处理系统采用经过严格计算的两点接触结构，接触点采用特殊陶瓷复合材料制成，表面粗糙度控制在Ra0.05μm以内。这种设计在保证稳定夹持的同时，将接触污染风险降低90%以上，特别适用于300mm以下各类尺寸晶圆的精密操作。
2. 创新材料选择确保操作安全性
系统摒弃传统金属材质，采用经过特殊处理的工程塑料接触部件，其弹性模量经过精确匹配。接触部位采用仿生学曲面设计，接触压力均匀分布在2-5N范围内，消除传统金属夹具常见的边缘应力集中问题。
3. 缓冲保护机构提升操作可靠性
晶圆挡块采用三级缓冲设计，配备压力感应反馈系统。当接触压力超过预设阈值时，系统会自动启动补偿机制，将压力控制在安全范围内。这一设计使意外损坏率降至0.005%以下，大幅提升自动化生产的稳定性。
4. 模块化清洁结构简化维护流程
主体采用无金属一体化设计，所有组件均符合SEMI标准清洁规范。提供包括PPSU、PEI在内的多种材料选项，支持121℃高温蒸汽灭菌。系统维护周期可延长至2000次操作以上，显著降低使用成本。