热膨胀特性与硅单晶相匹配。因此，可以在宽温度范围内进行变形少的阳极接合。
豪雅HOYA 阳极键合用玻璃 (SD2)江西欣罡供应
特征
热膨胀特性与硅单晶相匹配
通过选择铝硅酸盐玻璃成分（SiO2-Al2O3-Na2O体系），热膨胀特性在很宽的温度范围内与硅单晶相匹配。易于阳极键合
通过添加少量的 Na，玻璃组合物降低了体积电阻率，即使在低于 400°C 的温度下也能实现牢固的键合。质量稳定
热膨胀特性稳定，批次间差异极小。加工性好，
可用低浓度氢氟溶液蚀刻，蚀刻面成镜面。
应用实例
1）半导体压力传感器基板
2）加速度计板
3) 喷墨打印机喷嘴部件
4) 微加工接合用玻璃
特征
| 物品 | 单元 | SD2 | 评论 |
| 热性能 | |||
| 热膨胀系数 | X10-7 / ℃ | 32 | 30 至 300°C（干涉膨胀计） |
| X10-7 / ℃ | 33 | 30 至 350°C（干涉膨胀计） | |
| X10-7 / ℃ | 34 | 30 至 400°C（干涉膨胀计） | |
| X10-7 / ℃ | 35 | 30 至 450°C（干涉膨胀计） | |
| X10-7 / ℃ | 36 | 30 至 500°C（干涉膨胀计） | |
| 应变点 | ℃ | 670 | 1014.5poise |
| 転移点 | ℃ | 720 | |
| 屈伏点 | ℃ | 785 | |
| 機械特性 | |||
| 比 重 | 2.60 | ||
| ヤング率 | GPa | 87 | |
| 剛性率 | GPa | 35 | |
| ポアソン比 | 0.24 | ||
| ヌープ硬 さ | 638 | ||
| 摩擦度 | 44 | ||
| 化学特性 | |||
| 耐HN03性 | mg/cm2 | 0.08 | *1 |
| 耐H2S04性 | mg/cm2 | <0.01 | *2 |
| 耐NaOH性 | mg/cm2 | <0.01 | *3 |
| 光学特性 | |||
| 屈折率 | （Nd） | 1.531 | |
| アッベ数 | （νd） | 59 | |
| 電気特性 | |||
| 誘電正接 | （tanδ） | 0.010 | 20℃ 1MHz |
| （tanδ） | 0.019 | 100℃ 1MHz | |
| （tanδ） | 0.049 | 200℃ 1MHz | |
| 誘電率 | 6 | 20℃ 1MHz | |
| 7 | 100℃ 1MHz | ||
| 7 | 200℃ 1MHz | ||
| 体積抵抗率 | X1012Ω・m | 4.1 | 20℃ DC500V 1分 |
| X1010Ω・m | 0.4 | 100℃ DC500V 1分 | |
| X107Ω・m | 3.8 | 200℃ DC500V 1分 |
*1
直径43.7mm（両面で30cm2）、厚さ5mmの対面研磨されたガラス試料を、よく撹拌されている80℃ 30%HNO3水溶液中に50時間浸漬したときの単位面積あたり重量減mg/cm2で示す。
*2
直径43.7mm（両面で30cm2）、厚さ5mmの対面研磨されたガラス試料を、よく撹拌されている80℃ H2SO4：HNO3：H2O＝1:1:1水溶液中に50時間浸漬したときの単位面積あたり重量減mg/cm2で示す。
*3
直径43.7mm（両面で30cm2）、厚さ5mmの対面研磨されたガラス試料を、よく撹拌されている50℃ 0.00N NaOH水溶液中に15時間浸漬したときの単位面積あたり重量減mg/cm2で示す
豪雅HOYA 阳极键合用玻璃 (SD2)江西欣罡供应
