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日本福乐FLUORO真空镊子F系列F001

简要描述:真空镊子的主体使用氟树脂(4F-PTFE)。巧妙地结合了这种树脂的优异特性的精密加工保证了长期稳定的性能,例如气密性和耐久性。吸嘴采用PEEK/Vespel树脂,具有优异的耐化学性、耐热性和机械强度,机械加工后,进行热处理和镜面精加工,即使长期使用也能保持稳定的性能。吸附芯片有多种尺寸和材料,可以从多种晶圆尺寸中进行选择。由于难以获得 3F(PCTFE)材料,F 系列真空镊子的 3F 将停产。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-06-24
  • 访  问  量:21
详细介绍
品牌FLUORO/日本福乐产地类别进口
应用领域综合

1. 4F-PTFE主体材料提升产品耐用性
真空镊子主体采用特殊配方的4F-PTFE氟树脂制造,该材料展现出优异的化学稳定性和低摩擦系数。通过精密注塑成型工艺,产品在保持轻量化的同时,确保长期使用中的气密性表现,经测试可承受5000次以上的重复操作。

2. 复合吸嘴材料优化操作性能
吸嘴组件选用PEEK与Vespel的复合材料,经过CNC精密加工和后续热处理工艺。镜面抛光处理使接触面粗糙度优于Ra0.1μm,在保持280℃耐温性能的同时,显著降低与晶圆表面的粘附效应。

3. 模块化设计提供多样化选择
系统配备多种规格的吸附芯片组件,支持150mm至450mm晶圆的处理需求。每种芯片都经过严格的气流测试,真空吸附力偏差控制在±5%以内,确保操作稳定性。


 


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