服务热线
品牌 | FLUORO/日本福乐 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 综合 |
1. 氟树脂主体确保长期稳定性能
真空镊子主体采用4F-PTFE材料精密加工而成,充分发挥该材料优异的化学惰性和气密性特点。经过特殊处理工艺,产品在长期使用中能保持稳定的真空性能,耐久性测试显示使用寿命可达5000次操作以上。
2. 高性能吸嘴材料保障操作可靠性
吸嘴选用PEEK/Vespel复合材料,经过精密机械加工和后续热处理工艺。镜面抛光处理使接触面粗糙度控制在Ra0.05μm以内,在保持260℃耐温性能的同时,确保与晶圆的接触安全可靠。
3. 多样化吸附芯片满足不同需求
系统提供多种尺寸和材质的吸附芯片选项,可适配150mm至300mm规格的晶圆处理需求。每种芯片都经过严格的气密性测试,确保真空吸附力的稳定性。
4. 产品线优化与更新说明
由于3F(PCTFE)材料的供应限制,F系列真空镊子的3F吸嘴将逐步停产。现有库存仍可正常供应,建议用户根据实际需求选择合适的替代型号,我们将提供专业的技术支持服务。