简要描述：KOSAKA小坂研究所台阶仪NT1520
产品概述：
• 测量膜厚、段差，建立配方后可自动测量。
• 直动式检出器，更高精度，高再现性。
• X、Y方向两轴测量，工件放置不受限。
• 可搭载机械手臂，实现在线全自动测量。

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