日本豪雅HOYA 阳极键合用玻璃 SD-2 成都藤田科技全系代理
热膨胀特性与硅单晶相匹配。因此,可以在宽温度范围内进行变形少的阳极接合。特征热膨胀特性与硅单晶相匹配通过选择铝硅酸盐玻璃成分(SiO2-Al2O3-Na2O体系),热膨胀特性在很宽的温度范围内与硅单晶相匹配。易于阳极键合通过添加少量的 Na,玻璃组合物降低了体积电阻率,即使在低于 400°C 的温度下也能实现牢固的键合。质量稳定热膨胀特性稳定。


应用实例
1)半导体压力传感器基板
2)加速度计板
3) 喷墨打印机喷嘴部件
4) 微加工接合用玻璃
特征
| 物品 | 单元 | SD2 | 评论 |
| 热性能 |
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| 热膨胀系数 | X10-7 / ℃ | 32 | 30 至 300°C(干涉膨胀计) |
| X10-7 / ℃ | 33 | 30 至 350°C(干涉膨胀计) |
| X10-7 / ℃ | 34 | 30 至 400°C(干涉膨胀计) |
| X10-7 / ℃ | 35 | 30 至 450°C(干涉膨胀计) |
| X10-7 / ℃ | 36 | 30 至 500°C(干涉膨胀计) |
| 应变点 | ℃ | 670 | 1014.5poise |
| 転移点 | ℃ | 720 |
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| 屈伏点 | ℃ | 785 |
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| 機械特性 |
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| 比 重 |
| 2.60 |
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| ヤング率 | GPa | 87 |
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| 剛性率 | GPa | 35 |
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| ポアソン比 |
| 0.24 |
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| ヌープ硬 さ |
| 638 |
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| 摩擦度 |
| 44 |
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| 化学特性 |
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| 耐HN03性 | mg/cm2 | 0.08 | *1 |
| 耐H2S04性 | mg/cm2 | <0.01 | *2 |
| 耐NaOH性 | mg/cm2 | <0.01 | *3 |
| 光学特性 |
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| 屈折率 | (Nd) | 1.531 |
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| アッベ数 | (νd) | 59 |
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| 電気特性 |
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| 誘電正接 | (tanδ) | 0.010 | 20℃ 1MHz |
| (tanδ) | 0.019 | 100℃ 1MHz |
| (tanδ) | 0.049 | 200℃ 1MHz |
| 誘電率 |
| 6 | 20℃ 1MHz |
| 7 | 100℃ 1MHz |
| 7 | 200℃ 1MHz |
| 体積抵抗率 | X1012Ω・m | 4.1 | 20℃ DC500V 1分 |
| X1010Ω・m | 0.4 | 100℃ DC500V 1分 |
| X107Ω・m | 3.8 | 200℃ DC500V 1分 |
直径43.7mm(両面で30cm2)、厚さ5mmの対面研磨されたガラス試料を、よく撹拌されている80℃ 30%HNO3水溶液中に50時間浸漬したときの単位面積あたり重量減mg/cm2で示す。
*2
直径43.7mm(両面で30cm2)、厚さ5mmの対面研磨されたガラス試料を、よく撹拌されている80℃ H2SO4:HNO3:H2O=1:1:1水溶液中に50時間浸漬したときの単位面積あたり重量減mg/cm2で示す。
*3
直径43.7mm(両面で30cm2)、厚さ5mmの対面研磨されたガラス試料を、よく撹拌されている50℃ 0.00N NaOH水溶液中に15時間浸漬したときの単位面積あたり重量減mg/cm2で示す
日本豪雅HOYA 阳极键合用玻璃 SD-2 成都藤田科技全系代理